王建艳
- 作品数：8 被引量：3H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国航空科学基金福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程一般工业技术机械工程理学更多>>
- 锆钛酸铅薄膜的生长与表征
- 2013年
- 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。
- 张翊潘峰包达群王建艳郭航
- 关键词：退火溶胶凝胶法
- 一种单轴压电加速度计
- 一种单轴压电加速度计，涉及压电加速度计。提供可提高加速度计灵敏度，增加其频率带宽的一种单轴压电加速度计。设有质量块，质量块呈长方体，在质量块的顶部两侧分别沿设左梁和右梁，左梁、右梁与质量块成一体，在左梁上表面设有左梁左压...
- 郭航王建艳
- 文献传递
- 一种三轴压电加速度计
- 一种三轴压电加速度计，涉及加速度计。提供可提高加速度计灵敏度，增加其频率带宽的一种三轴压电加速度计。设有质量块，质量块为八边柱体，在质量块的两对称边上设有左梁、右梁、前梁和后梁，各梁均为长方体，在左梁上表面设有对称分布的...
- 郭航王建艳
- 文献传递
- 压电材料的制备与压电微纳器件的研究
- 压电材料的响应速度快，灵敏度高，在各个领域拥有广泛的应用，而压电纤维与压电薄膜又有尺寸小，柔顺性能优的特点得到了大量的研究。本文主要研究了压电纤维与压电薄膜的制备过程，对获得的薄膜进行表征分析，确定成分，然后将压电材料应...
- 王建艳
- 关键词：压电材料
- 微机械圆盘谐振器的结构分析被引量：1
- 2013年
- 运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率,同时也降低了微加工精度的要求.
- 郭建来刘畅王建艳林杰郭航
- 关键词：有限元锚点品质因子
- 应用静电纺丝法制备PZT纳米纤维薄膜
- 2014年
- 提出应用静电纺丝法制备PZT纳米纤维薄膜。研究中配制PZT溶液后再进行静电纺丝,获得了PZT纳米纤维薄膜,并且通过调整纺丝时间和沉积次数来控制纳米纤维薄膜的厚度。运用SEM对获得的热处理前后的薄膜进行了观察对比,测量其平均直径约为200 nm;运用XRD对退火后的样品进行分析,测得样品的主要成分为Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,证明所制备的正是PZT薄膜;运用AFM测得薄膜的表面粗糙度为1.034 nm,说明该纳米薄膜材料非常的均匀整齐。
- 王建艳裴强吴玉玲郭航
- 关键词：静电纺丝退火
- 单根PZT微纳米纤维谐振器的研究
- 米谐振器由于尺寸达到微纳米级而具有谐振频率高、有效质量小、品质因数高等特点,广泛应用于各种电子产品中.为了达到更高的谐振频率,设计了一种新型谐振器.利用静电纺丝法制备出单根纳米PZT纤维,建立模型将单根PZT微纳米纤维应...
- 王建艳裴强林智鑫郭航
- 关键词：谐振频率能量法
- 一种三轴压电加速度计
- 一种三轴压电加速度计，涉及加速度计。提供可提高加速度计灵敏度，增加其频率带宽的一种三轴压电加速度计。设有质量块，质量块为八边柱体，在质量块的两对称边上设有左梁、右梁、前梁和后梁，各梁均为长方体，在左梁上表面设有对称分布的...
- 郭航王建艳
- 文献传递
