周洪军
- 作品数：4 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学更多>>
- 窄带Mo／Si多层膜反射镜
- 本文设计并制备了窄带Mo／Si多层膜反射镜,工作波长为14 nm。利用高反射级次和减小Mo 层厚度两种方法减小Mo／Si多层膜反射镜光谱宽度。对Mo层厚度分别为2 nm和3 nm的Mo／Si多层膜, 设计了反射级次分别从...
- 吴文娟朱京涛王风丽张众王洪昌张淑敏王占山陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：窄带EUV反射率
- 文献传递
- 极紫外多层膜基底表面粗糙度综合表征技术
- 研究用不同清洗方法对硅基底表面粗糙度的影响,首先使用原子力显微镜（AFM）直接测量硅片表面粗糙度。然后,利用直流磁控溅射方法,在相同制备工艺条件下镀制Mo／Si多层膜,使用X射线衍射仪（XRD）对多层膜二级衍射峰进行摇摆...
- 张淑敏朱京涛王风丽张众沈正祥王占山周洪军霍同林
- 关键词：多层膜超声清洗摇摆曲线
- 文献传递
- NSRL真空紫外圆二色光谱实验站设计及性能测试被引量：1
- 2007年
- 本文介绍了中国科学技术大学国家同步辐射实验室(NSRL)真空紫外圆二色光谱测量装置的设计及安装调试结果,包括光学设计、样品池、数据采集系统、以及标准样品测量的结果。该实验站连接在弯铁光源和正入射单色器光束线的末端,在0.5nm光谱分辨下样品点的光子通量大于1012s-1。采用线性起偏器获得线偏振同步辐射,经过光弹调制器(PEM)获得重复频率约50kHz、左右旋交替的圆偏振光。通过高压伺服使得光电倍增管平均输出电流不变;使用锁相放大器采集与PEM同频的交流信号,得到圆二色光谱信号。常规实验条件(氮气氛保护、水作为溶剂、标准样品池)下,可测试的光谱范围是178—300nm。通过采用特殊溶剂、超短光程氟化物样品池等手段,可以将测试的短波限推至140nm。
- 张国斌吴文清石军岩周洪军戚泽明符义兵霍同林
- 关键词：圆二色蛋白质二级结构真空紫外光谱
- EUV多层膜基底表面粗糙度综合表征技术
- ＜正＞多层膜反射镜是极紫外、软x射线光学中的一类重要的光学元件,近年来,随着纳米技术的进步, 人们在膜系设计、制备工艺上取得了很大的进步,但是对于超光滑基底的研究进展比较缓慢。在多层膜生长过程中,基底表面质量直接影响薄膜...
- 张淑敏朱京涛王风丽张众沈正祥王占山周洪军霍同林
- 文献传递
