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王辉

作品数：108 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 92篇专利
  • 10篇会议论文
  • 5篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 10篇机械工程
  • 6篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 41篇光学
  • 30篇光学元件
  • 25篇面形
  • 14篇六自由度
  • 12篇组件
  • 9篇光刻
  • 8篇复现性
  • 6篇调整装置
  • 6篇装调
  • 6篇面形检测
  • 6篇干涉仪
  • 5篇有限元
  • 5篇热应力
  • 5篇装配过程
  • 5篇面形精度
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇有限元分析
  • 4篇柔性铰链

机构

  • 108篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 108篇王辉
  • 84篇周烽
  • 69篇王丽萍
  • 68篇金春水
  • 48篇郭本银
  • 46篇谢耀
  • 13篇于杰
  • 10篇刘钰
  • 10篇苗亮
  • 9篇武俊峰
  • 9篇吴一辉
  • 8篇李强
  • 7篇张文龙
  • 6篇王君
  • 6篇马冬梅
  • 5篇张海涛
  • 5篇李胤
  • 4篇郑琪峰

传媒

  • 3篇中国激光
  • 3篇第四届全国信...
  • 2篇第十三届全国...
  • 2篇第十四届全国...
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇中国光学与应...

年份

  • 3篇2023
  • 4篇2022
  • 14篇2021
  • 5篇2020
  • 4篇2019
  • 8篇2018
  • 15篇2017
  • 23篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 8篇2013
  • 14篇2012
  • 3篇2010
  • 1篇2005
共 108 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种测量方法
本发明适用于物镜系统相对位置关系的测量领域，公开了一种测量方法，用于测量物镜系统元件的相对位置，物镜系统包括主框架、组件框架和元件，测量方法包括以下步骤：建立组件框架坐标系与主框架坐标系的相对位置关系；建立元件坐标系与组...
李渊明王辉周烽金春水
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一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置
一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术存在的装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大，不能满足超高精度面形要求的问题。本发明包括凸台、n组主柔性支撑结构单...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍
五自由度调整装置
本发明五自由度调整装置，属于光学检测技术领域，解决了现有的多自由度调整装置会造成误差积累、且重量增加、占据空间大的技术问题；本发明包括X向运动平台、Y向运动平台、基座平台、多个球头螺杆、多个导向块组件和多组高度调整组件；...
郭本银王辉周烽王丽萍谢耀金春水
文献传递
微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法
微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法，涉及光学系统检测领域，解决现有微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位的准确率低且存在工作量大，操作过程复杂等问题，采用三坐机上对主镜和次镜的反射面轮廓进行测量，获得主镜和次...
谢耀周烽王丽萍王辉郭本银张文龙金春水
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大的问题。本发明包括支撑盘、凸台、凸台压板、凸台紧固螺母、柔性支撑主体结构、蝶形...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍
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一种磁悬浮支撑装置
本发明公开了一种磁悬浮支撑装置，包括：支撑盘及设置于支撑盘上的光学元件，光学元件上设有若干第一连接端，支撑盘上设有与第一连接端对应的若干第二连接端，每个第一连接端与其对应的第二连接端之间通过磁浮机构支撑，第一连接端与第二...
王辉周烽王丽萍李渊明金春水
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一种物像面定位系统以及定位方法
本发明公开了一种物像面定位系统以及物像面定位系统的定位方法。所述物像面定位系统包括：物镜系统，测量塔，定位板，检焦系统，调整机构，辅助折光镜，测量设备；所述物镜系统与所述测量塔装配在一起；所述测量塔上设置有三个位移传感器...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
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点衍射干涉仪高重复性检测支撑设备研制
点衍射干涉仪具有极高的检测精度,可用于极紫外光刻光学元件的检测。为了达到衍射极限分辨率的要求,极紫外光刻投影物镜系统RMS波像差小于1nm,相应的光学元件的面形要求RMS值达到深亚纳米的量级。实现上述目标需要超高精度的面...
王辉
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用于光学元件支撑的调整机构
用于光学元件支撑的调整机构，涉及光学元件的精密调整技术领域，具体涉及用于光学元件支撑的调整机构；本机构为了解决现有光学元件偏心调整的方式行程范围有限以及更好的解决热应力消除的技术问题；光学元件的调整量作为运动控制的输入，...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
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一种六自由度运动平台的控制系统
本申请公开了一种六自由度运动平台的控制系统，包括：FPGA，用于获取目标六自由度运动平台的位姿信息；PID控制器，设置在FPGA上，用于对位姿信息进行解算，得到解算信息；驱动器，与PID控制器相连，用于根据解算信息对目标...
周烽王辉王丽萍李渊明金春水
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