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刘洋
作品数:
2
被引量:8
H指数:1
供职机构:
四川大学物理科学与技术学院
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
王芳宁
四川大学物理科学与技术学院
王植恒
四川大学物理科学与技术学院
刘细成
四川大学物理科学与技术学院
高博
四川大学物理科学与技术学院
石瑞英
四川大学物理科学与技术学院
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2017
1篇
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共
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对AlGaN/GaN共振隧穿二极管的理论分析和仿真优化
刘洋
高博
龚敏
石瑞英
正确使用多次测量法提高椭偏测量精度
被引量:8
2004年
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性 ,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况 ,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法 ,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算。此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值 ,是提高椭偏测量精度的有效方法之一。
王芳宁
王植恒
刘细成
刘洋
关键词:
椭偏测量
椭圆偏振
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