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熊壮

作品数：64 被引量：16H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许蔚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宝林
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 加速度传感器 悬臂梁 冲击传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈明山
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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