2025年2月13日
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连军
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3
被引量:13
H指数:2
供职机构:
河北工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
张志刚
河北工业大学信息工程学院微电子...
张楷亮
河北工业大学信息工程学院微电子...
赖占平
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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张志刚
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:A/O 半导体材料 切削液 F
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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张志花
供职机构:河北工业大学
研究主题:锗 键合 CMP技术 硅器件 键合强度
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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赖占平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:砷化镓 GAAS单晶 半绝缘砷化镓 集成电路 SI-GAAS材料
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