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陈忠民
作品数:
16
被引量:15
H指数:2
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家教育部“211”工程
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合作作者
刘泽文
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
方杰
清华大学信息科学技术学院微电子...
韦嘉
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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方杰
供职机构:清华大学
研究主题:可变电容 微机械 电容值 射频 MEMS
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韦嘉
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:压控电容 微机械 射频 MEMS 高隔离度
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丁勇
供职机构:宁波大学
研究主题:桥梁伸缩缝 桥梁工程 电感 桥面 锚具
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宣云
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:开关 RF_MEMS开关 射频 微机械 共面波导
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赵嘉昊
供职机构:清华大学
研究主题:共面波导 电极 微系统 RF_MEMS开关 静电驱动
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