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俞正寅

作品数：9 被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
关炎芳
供职机构：河南工业大学
研究主题：微泵 无阀微泵 压电微泵 压电 液态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高安然
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 生物传感器 场效应晶体管 湿法腐蚀 液滴
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘春波
供职机构：河南工业大学机电工程学院
研究主题：液晶 微流动 引流 微流体 液晶盒
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冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 固定相 热导检测器 微机电系统 气相色谱柱
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杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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张士雄
供职机构：河南工业大学机电工程学院
研究主题：胶辊砻谷机 极点配置 线速度 砻谷机 二阶线性
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