2024年8月30日
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刘邦武
作品数:
91
被引量:165
H指数:8
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
山东省优秀中青年科学家科研奖励基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
夏洋
中国科学院微电子研究所
李勇滔
中国科学院微电子研究所
李超波
中国科学院微电子研究所
王文东
中国科学院微电子研究所
李惠琪
山东科技大学研究生学院
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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王文东
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
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李惠琪
供职机构:山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题:等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金 截齿 等离子炬
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张丽民
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:等离子表面冶金 等离子熔覆 等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
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刘杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
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邵花
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子喷涂 杂色
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所获资助
研究领域
汪明刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
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