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周清华

作品数:10 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域:文化科学轻工技术与工程更多>>

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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱咸昌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 微透镜阵列 大视场 焦距 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜婧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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