2025年3月26日
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周清华
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
文化科学
轻工技术与工程
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
杜婧
中国科学院光电技术研究所
朱咸昌
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
刘俊伯
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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朱咸昌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 微透镜阵列 大视场 焦距 投影物镜
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供职机构
所获资助
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
杜婧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻机 掩模 镜片 镜筒 铰链
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
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