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张志花
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9
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H指数:1
供职机构:
河北工业大学
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电子电信
金属学及工艺
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
张德臣
河北工业大学
李湘都
河北工业大学
李薇薇
河北工业大学
檀柏梅
河北工业大学
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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张德臣
供职机构:河北工业大学
研究主题:锗 硅器件 键合强度 键合 化学机械全局平面化
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李湘都
供职机构:河北工业大学
研究主题:研磨 硅单晶 大规模集成电路 表面光洁度 CMP技术
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李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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徐晓辉
供职机构:河北工业大学
研究主题:传感器 土壤温湿度 无线传感器网络 智能温室 WIFI
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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张文智
供职机构:河北工业大学
研究主题:锗 硅器件 键合强度 键合 抛光片
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