2024年8月30日
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赵佳欣
作品数:
5
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大连理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
崔岩
大连理工大学机械工程学院
夏劲松
大连理工大学机械工程学院微纳米...
王立鼎
大连理工大学机械工程学院
张吕权
大连理工大学机械工程学院微纳米...
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夏劲松
供职机构:大连理工大学
研究主题:干法刻蚀 硅尖 湿法腐蚀 各向异性腐蚀 压电
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崔岩
供职机构:大连理工大学
研究主题:大气光学 PZT薄膜 天空 微力传感器 压电
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王立鼎
供职机构:北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题:微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 MEMS 精密加工技术
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张吕权
供职机构:大连理工大学
研究主题:压电 压电薄膜 干法刻蚀 纳米压印 纳米硅
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