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钟旻
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17
被引量:8
H指数:2
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
封松林
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘波
中国科学院上海微系统与信息技术...
冯高明
中国科学院上海微系统与信息技术...
王良咏
中国科学院上海微系统与信息技术...
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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刘波
供职机构:北京工业大学计算机学院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 存储器 电阻
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冯高明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 刻蚀 相变 相变材料 化学机械抛光
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王良咏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 相变材料 相变存储器 抛光速率 硅酸
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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张挺
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电阻 存储器 相变存储器 相变材料 肖特基二极管
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朱敏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 结晶温度 相变 选通
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研究领域
李莹
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:成品率 化学机械抛光 料层 相变材料 相变
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