2025年1月25日
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天津理工大学
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合作作者
张楷亮
天津理工大学
王芳
天津理工大学
冯玉林
天津理工大学
张涛峰
天津理工大学
王莎莎
天津理工大学
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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王芳
供职机构:天津大学
研究主题:存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
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冯玉林
供职机构:天津理工大学
研究主题:叠层结构 氧化铪 存储器 化学机械抛光 离子束溅射
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张涛峰
供职机构:天津理工大学
研究主题:抛光液 抛光速率 集成电路工艺 化学机械平坦化 金刚石薄膜
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孙大智
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石膜 纳米金刚石薄膜 金刚石 金刚石薄膜 纳米
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王莎莎
供职机构:天津理工大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石表面 纳米 抛光 等离子体刻蚀
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孙阔
供职机构:天津理工大学
研究主题:存储器 叠层结构 射频溅射 氧化铪 氧化钒薄膜
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董莉
供职机构:天津理工大学
研究主题:光子晶体光纤 纤芯 金膜 传感器件 SPR
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赵金石
供职机构:天津理工大学
研究主题:存储器 叠层结构 电极 氧化钒 低功耗
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王兰兰
供职机构:天津理工大学
研究主题:存储器 氧化物 N型 叠层结构 转换层
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