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卢意飞
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35
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供职机构:
上海集成电路研发中心
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上海市自然科学基金
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合作作者
袁伟
上海集成电路研发中心
左青云
上海集成电路研发中心
李铭
上海集成电路研发中心
胡红梅
上海集成电路研发中心
刘强
中国科学院上海微系统与信息技术...
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袁伟
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:光刻 光刻机 光刻工艺 光刻版 硅片
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左青云
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
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胡红梅
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:光刻胶 光刻 旁瓣 图形化 光刻工艺
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李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
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刘强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:图形化 衬底 晶体管 硅 场效应晶体管
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孙德明
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:CMOS图像传感器 图像传感器 光电二极管 掺杂 量子效率
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赵宇航
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图像传感器 像元 光敏元件 CMOS影像传感器 CMOS图像传感器
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郭奥
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:漏极 晶体管 源极 阵列结构 存储器单元
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周伟
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:CMOS图像传感器 光电二极管 漏极 分频器 晶体管
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刘林林
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:寄生电阻 MOS器件 射频 建模方法 寄生
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