2025年2月15日
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沈珊瑚
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供职机构:
浙江大学电气工程学院
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国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
史峥
浙江大学电气工程学院超大规模集...
陈晔
浙江大学电气工程学院超大规模集...
严晓浪
浙江大学电气工程学院超大规模集...
谢春蕾
浙江大学电气工程学院超大规模集...
周珂
浙江大学电气工程学院
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史峥
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:光学邻近校正 集成电路 光刻 成品率 版图
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陈晔
供职机构:浙江大学
研究主题:分辨率增强技术 光刻 硅表面 中外合作办学 光刻模拟
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周珂
供职机构:浙江大学
研究主题:间充质干细胞 分化诱导 外源物质 特征函数 SOCS
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严晓浪
供职机构:浙江大学电气工程学院
研究主题:集成电路 VLSI 低功耗 版图 光学邻近校正
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谢春蕾
供职机构:浙江大学
研究主题:版图 光学邻近校正 光刻仿真 超深亚微米 层次化
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李季
供职机构:浙江大学
研究主题:光刻模拟 分辨率增强技术 分辨率 离轴照明 废水处理
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章庆
供职机构:浙江大学信息科学与工程学院
研究主题:成像 超深亚微米 集成电路版图 可制造性
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陈志锦
供职机构:中国兵器工业第58研究所
研究主题:集成电路 光学邻近校正 交流伺服系统 交流伺服驱动器 光刻模拟
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吴克智
供职机构:浙江大学信息科学与工程学院
研究主题:成像 超深亚微米 集成电路版图 可制造性
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胡承敏
供职机构:浙江大学信息科学与工程学院
研究主题:成像 超深亚微米 集成电路版图 可制造性
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