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罗四维

作品数：6 被引量：3H指数：1
供职机构：河北半导体研究所更多>>
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合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 3个电子束
  • 3个电子束抗蚀剂
  • 3个电子束曝光
  • 3个电子束曝光技...
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机构

  • 3个河北半导体研...
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资助

  • 1个国家自然科学...
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传媒

  • 3个微纳电子技术
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  • 3个第十一届全国...
  • 1个Journa...
  • 1个电子工艺技术
  • 1个物理学报
  • 1个微细加工技术
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  • 1个第六届全国电...

地区

  • 3个河北省
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江泽流
供职机构：河北半导体研究所
研究主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 铬
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉贵
供职机构：河北半导体研究所
研究主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 库仑阻塞
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王维军
供职机构：河北半导体研究所
研究主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 铬
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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