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项金娟
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
李俊峰
中国科学院微电子研究所
王晓磊
中国科学院微电子研究所
王文武
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
高建峰
中国科学院微电子研究所
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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王晓磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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高建峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 牺牲层 衬底
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
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刘卫兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:红外光源 MEMS 图形化 金属电极 刻蚀
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贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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杨红
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 金属栅 功函数 衬底 阈值电压
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