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作品数：17 被引量：44H指数：4
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周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张果虎
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 直拉硅单晶 硅 氧 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屠海令
供职机构：国家工程研究中心
研究主题：硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
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方锋
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 磁体 热屏 脆性断裂 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴志强
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 直拉硅单晶 热屏 单晶炉 大直径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯泉林
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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秦福
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 坩埚 硅 直拉硅单晶 单晶硅
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库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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王敬
供职机构：清华大学
研究主题：沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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