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张立
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北京大学
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杨芳
北京大学
张大成
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何军
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李婷
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杨芳
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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王玮
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何军
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
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李婷
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研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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田大宇
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研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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刘鹏
供职机构:北京大学
研究主题:艺术博物馆 前驱物 衬底 气相外延 MEMS器件
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罗葵
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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黄贤
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 成品率 芯片尺寸 结构层 压阻式压力传感器
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李睿
供职机构:北京大学
研究主题:长梁 锯齿 微结构 GAN基激光器 激光器
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