2024年7月13日
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杨富华
作品数:
460
被引量:236
H指数:7
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
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机械工程
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合作作者
王晓东
中国科学院大学微电子学院
杨晋玲
中国科学院半导体研究所
韩伟华
中国科学院半导体研究所
张加勇
中国科学院半导体研究所
杨香
中国科学院半导体研究所
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 刻蚀
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杨晋玲
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:谐振器 圆片级 电极 淀积 谐振结构
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韩伟华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅基 晶体管 纳米线 硅纳米线 硅衬底
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张加勇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米尺寸 相变存储器 淀积 干法刻蚀 相变材料
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
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季安
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
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郑厚植
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 半导体 量子点 GA 自旋
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张明亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 热电器件 MEMS压力传感器 纳米线结构 谐振式
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刘雯
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:陷光结构 太阳电池 光吸收 场效应晶体管 量子点
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韩国威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 锚点 MEMS 压电层 谐振器
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