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柴淑敏

作品数:17 被引量:5H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

领域

  • 34个电子电信
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  • 16个理学
  • 12个电气工程
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主题

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  • 16个淀积
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机构

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资助

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传媒

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  • 5个功能材料

地区

  • 34个北京市
  • 1个陕西省
35 条 记 录,以下是 1-10
徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玉印
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 反应离子刻蚀 多晶硅栅 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨荣
供职机构:西安交通大学
研究主题:PMOSFET 床身 无线传感器网络 LDMOS NMOS
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韩郑生
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王大海
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:垂直腔面发射激光器 GAN 半导体器件 晶圆片 散热能力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周锁京
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:场效应晶体管 EOT CMOS VLSI 亚微米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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