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柴淑敏
作品数:
17
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
徐秋霞
中国科学院微电子研究所
钱鹤
中国科学院微电子研究所
李俊峰
中国科学院微电子研究所
赵玉印
中国科学院微电子研究所
杨荣
中国科学院微电子研究所
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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赵玉印
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 反应离子刻蚀 多晶硅栅 碳化硅
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杨荣
供职机构:西安交通大学
研究主题:PMOSFET 床身 无线传感器网络 LDMOS NMOS
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韩郑生
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
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许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
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王大海
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:垂直腔面发射激光器 GAN 半导体器件 晶圆片 散热能力
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周锁京
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:场效应晶体管 EOT CMOS VLSI 亚微米
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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