2025年2月15日
星期六
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吕佳楠
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4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
朱贺
长春理工大学理学院
林文魁
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
付思齐
长春理工大学理学院
闫桂珍
北京大学微电子学研究院
杨振川
北京大学微电子学研究院
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林文魁
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:电极 压电层 薄膜体声波谐振器 磁电 天线
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李海军
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:金属光栅 多量子阱 局域 量子阱红外探测器 表面等离子体激元
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朱贺
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:表面等离子体激元 表面等离子体 近场光学 纳米孔阵列 电介质
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付思齐
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:刻蚀 光刻版 湿法腐蚀 掩膜 掩模
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杨振川
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
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闫桂珍
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
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张宝顺
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:二维电子气 电极 HEMT器件 衬底 半导体
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陈敬
供职机构:香港科技大学
研究主题:功率电子器件 功率电子 界面态 物理研究 栅介质
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