2024年8月31日
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廖小华
作品数:
10
被引量:11
H指数:2
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
电子电信
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合作作者
李玉和
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
葛杨翔
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李会雨
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王东生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李玉和
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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葛杨翔
供职机构:清华大学
研究主题:压电双晶片 柔性铰链 外差干涉 激光干涉 缺陷检测系统
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李会雨
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:超光滑表面 相移干涉 粗糙度 粗糙度测量 干涉仪
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所获资助
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王东生
供职机构:清华大学
研究主题:热释电 相移干涉术 压电双晶片 被动调Q 信号处理
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郑静琳
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 精密定位工作台 微位移 BP神经网络 压电陶瓷
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刘梅
供职机构:清华大学
研究主题:BP网络 BP神经网络 压电陶瓷 光学测量 控制技术
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林浩山
供职机构:广西师范大学物理科学与技术学院
研究主题:外差干涉 光学测量 粗糙度 相移干涉 相移
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