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张奎
作品数:
11
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国科学院院地合作项目
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
王阳
中国科学院上海光学精密机械研究...
魏劲松
中国科学院上海光学精密机械研究...
耿永友
中国科学院上海光学精密机械研究...
吴谊群
中国科学院上海光学精密机械研究...
魏涛
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王阳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩膜 锑 光刻 超分辨 记录层
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供职机构
所获资助
研究领域
魏劲松
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:超分辨 激光直写 光刻 数值孔径 测量方法
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魏涛
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光诱导 激光能量 SUB 半导体工业 高斯分布
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吴谊群
供职机构:黑龙江大学
研究主题:酞菁 金属酞菁 氧 萘酞菁 旋涂膜
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供职机构
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研究领域
耿永友
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:刻蚀 蓝光 光存储 激光直写 旋涂
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翟凤潇
供职机构:郑州轻工业学院
研究主题:光致聚合物 衍射效率 全息存储 光谱 全息
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李豪
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:刻蚀 激光 制备工艺参数 复合激光 金属螯合物
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顿爱欢
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学元件 抛光 大口径 抛光液 大口径光学元件
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施宏仁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:时钟信号 光存储 信噪比 光盘播放 计数模块
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