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段立峰

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

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领域

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地区

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共 19 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐东波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨济硕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹宇婷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：掩模 光刻机 像差 投影物镜 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁琼雁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 移相 像差 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄炳杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：析图 层析成像方法 正弦相位调制 参考光 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渤帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 半导体激光 干涉仪 测量方法 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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