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焦继伟
作品数:
84
被引量:126
H指数:6
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
理学
机械工程
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合作作者
王跃林
浙江大学信息与电子工程学系
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
杨恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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张颖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
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冯飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
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王敏昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:角速度传感器 真空封装 基板 电极 致密性
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王安麟
供职机构:同济大学
研究主题:液力变矩器 微机械陀螺 遗传算法 工程机械 自组织
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姜涛
供职机构:同济大学机械与能源工程学院
研究主题:微机械陀螺 弹性梁 相移 陀螺 元胞自动机
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