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王善鹤

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:复旦大学更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

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4 条 记 录,以下是 1-4
包宗明
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 红外 硅 多孔硅 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵新安
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微齿轮 齿轮 多晶硅 硅片 物理过程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张熙
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 物理过程 齿轮 微机械加工 微齿轮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭淞生
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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