2025年3月6日
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王善鹤
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2
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供职机构:
复旦大学
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
张熙
中国科学院上海冶金研究所上海微...
赵新安
中国科学院上海冶金研究所上海微...
谭淞生
中国科学院上海冶金研究所上海微...
包宗明
复旦大学
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包宗明
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 红外 硅 多孔硅 微机电系统
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供职机构
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赵新安
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微齿轮 齿轮 多晶硅 硅片 物理过程
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张熙
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 物理过程 齿轮 微机械加工 微齿轮
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所获资助
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谭淞生
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
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所获资助
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