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范真节

作品数：31 被引量：43H指数：3
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林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白瑜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志远
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张辉
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：星敏感器 视场 恒星 选通 质心
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 掩模 棱镜 微开关 光程差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕保斌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖胜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学系统 红外系统 点目标 反射镜 定标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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