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刘晓雷

作品数：15 被引量：20H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 7个电子电信
  • 6个机械工程
  • 6个理学
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主题

  • 7个掩模
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  • 6个投影物镜
  • 6个物镜
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  • 5个照明
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机构

  • 7个中国科学院上...
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资助

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传媒

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  • 3个物理学报
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  • 1个电子测量技术
  • 1个仪器仪表学报

地区

  • 5个上海市
  • 1个北京市
  • 1个新疆
共 7 条 记 录，以下是 1-7
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
管文超
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 仿真方法 极紫外光刻 多层膜 近似法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈丽娜
供职机构：新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题：投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹宇婷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：掩模 光刻机 像差 投影物镜 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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