2025年3月18日
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张磊
作品数:
6
被引量:39
H指数:4
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
四川省学术和技术带头人培养资金
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相关领域:
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理学
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合作作者
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
杜春雷
中国科学院光电技术研究所
张晓玉
中国科学院光电技术研究所
安卫军
中国科学院光电技术研究所
秦涛
中国科学院光电技术研究所
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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供职机构
所获资助
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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张晓玉
供职机构:兰州大学
研究主题:光子晶体 二维光子晶体 反应离子刻蚀 空气柱 微细加工技术
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安卫军
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:MN X 晶体生长 晶体 Β相
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张福甲
供职机构:兰州大学
研究主题:AFM XPS PTCDA GAP 有机场效应晶体管
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秦涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:导模共振 防伪 光栅 柔度 光子禁带
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张小玉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光子禁带 半导体 光子晶体 微电子学 FDTD
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陈旭南
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
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石建平
供职机构:安徽师范大学
研究主题:原子束 光子晶体 光刻分辨力 金属薄膜 纳米结构制作
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研究领域
潘莉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:反应离子刻蚀 光子晶体 光刻 激光直写 离子蚀刻
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