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李军俊

作品数：3 被引量：13H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>

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杨景铭
供职机构：清华大学
研究主题：SOI 硅 激光再结晶 再结晶 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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