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龙志峰
作品数:
8
被引量:31
H指数:4
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
白立芬
清华大学机械工程学院精密仪器与...
韩荔
清华大学机械工程学院精密仪器与...
薛实福
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐毓娴
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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白立芬
供职机构:清华大学
研究主题:柔性铰链 动物纤维 图像处理 细度测量 集成电路
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供职机构
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韩荔
供职机构:清华大学
研究主题:变送器 加速度计 微硅 隧道 优化设计
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薛实福
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
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供职机构
所获资助
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徐毓娴
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
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李云平
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:MEMS 微装配 微系统 PWM 精密工作台
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王晓晔
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:力传感器 原子力显微镜 MEMS 微装配 微系统
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