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张照云

作品数：81 被引量：25H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金中国工程物理研究院科学技术发展基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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熊壮
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 MEMS 惯性开关 极板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许蔚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨杰
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 微加速度计 石英 微开关 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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