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李红

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
李仁锋
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 低压化学气相淀积 LPCVD MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴嘉丽
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 LPCVD G值 多晶硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 LPCVD CMP 多晶硅薄膜 淀积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
滕永华
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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