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王添平
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
谭淞生
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王渭源
中国科学院上海冶金研究所上海微...
解健芳
中国科学院上海冶金研究所上海微...
章熙康
中国科学院上海冶金研究所上海微...
庄志诚
上海交通大学
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解健芳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
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王渭源
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
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谭淞生
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
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章熙康
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 物理学 超导薄膜 光学窗口
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庄志诚
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 热解 RAMAN 光谱研究
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金晓峰
供职机构:复旦大学物理学系
研究主题:MN 磁性 GAAS CO 分子束外延
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王效东
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
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毛敏耀
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 MPCVD 光学窗口 微机械器件
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