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邹世昌
作品数:
200
被引量:245
H指数:9
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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合作作者
林成鲁
江苏石油化工学院
柳襄怀
中国科学院兰州化学物理研究所
沈鸿烈
复旦大学
杨根庆
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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沈鸿烈
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
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杨根庆
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子注入 小卫星 单粒子瞬态脉冲 硅
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
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张正选
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 总剂量辐射效应 MOS器件 绝缘体上硅 总剂量效应
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胡志远
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 沟道 沟槽隔离 总剂量效应 深亚微米器件
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
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宁冰旭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:沟道 沟槽隔离 SOI 深亚微米器件 微米
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