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赵立新

作品数：228 被引量：73H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何渝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 波像差
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邢薇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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李金龙
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 掩模 环形槽 节流孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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