2024年7月13日
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严伟
作品数:
144
被引量:113
H指数:6
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
唐小萍
中国科学院光电技术研究所
赵立新
中国科学院光电技术研究所
杨勇
中国科学院研究生院
李凡星
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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唐小萍
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 硅片
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所获资助
研究领域
李凡星
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:成像 测量方法 干涉条纹 调制度 传感器
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李艳丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 叠栅条纹 工件台 调焦 放大系统
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研究领域
邢薇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
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周绍林
供职机构:华南理工大学
研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
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王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
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所获资助
研究领域
陈铭勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
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