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何渝

作品数:67 被引量:35H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 35个机械工程
  • 35个自动化与计算...
  • 33个电子电信
  • 32个理学
  • 22个一般工业技术
  • 22个文化科学
  • 12个电气工程
  • 11个轻工技术与工...
  • 9个经济管理
  • 8个生物学
  • 8个医药卫生
  • 7个化学工程
  • 7个金属学及工艺
  • 4个交通运输工程
  • 3个动力工程及工...
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个农业科学
  • 3个自然科学总论
  • 2个建筑科学
  • 2个核科学技术

主题

  • 36个光刻
  • 35个掩模
  • 32个图像
  • 31个光学
  • 31个光栅
  • 29个激光
  • 28个条纹
  • 28个工件台
  • 27个衍射
  • 26个透镜
  • 26个成像
  • 25个掩模板
  • 23个投影光刻
  • 22个电机
  • 21个照明
  • 19个调制
  • 16个等离子体
  • 16个数字微镜
  • 14个大行程
  • 12个电路

机构

  • 36个中国科学院
  • 8个中国科学院大...
  • 6个中国科学院研...
  • 4个电子科技大学
  • 2个四川大学
  • 1个吉林大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个京东方科技集...
  • 1个《光电工程》...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 35个国家自然科学...
  • 18个国家高技术研...
  • 9个四川省科技支...
  • 7个国家重点基础...
  • 6个国家重点实验...
  • 5个中国科学院知...
  • 4个中国博士后科...
  • 4个国家教育部博...
  • 4个四川省杰出青...
  • 4个中国科学院西...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个成都市科技攻...
  • 3个中国科学院“...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个四川省科技计...
  • 2个中央高校基本...
  • 1个Scient...
  • 1个国防基金

传媒

  • 24个光学学报
  • 24个光电工程
  • 19个中国激光
  • 17个激光与光电子...
  • 15个微纳电子技术
  • 10个光子学报
  • 9个红外与激光工...
  • 9个电子工业专用...
  • 9个微细加工技术
  • 7个物理学报
  • 6个四川大学学报...
  • 6个半导体光电
  • 5个光电子.激光
  • 5个光学精密工程
  • 5个第十一届全国...
  • 4个现代科学仪器
  • 4个半导体技术
  • 4个科学通报
  • 4个强激光与粒子...
  • 4个计测技术

地区

  • 34个四川省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
36 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱江平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈铭勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 无掩模光刻 光刻机 投影物镜 莫尔条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯金花
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:工件台 叠栅条纹 掩模 光刻机 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 叠栅条纹 工件台 调焦 放大系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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