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史丽娜

作品数：2 被引量：27H指数：2
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共 9 条 记 录，以下是 1-9
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜宇禅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：表面等离子体共振 传感器结构 传感器 衬底 半导体工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡媛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：浮栅 存储器 硅衬底 非挥发性存储器 非易失存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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