2025年2月13日
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唐衍哲
作品数:
27
被引量:26
H指数:3
供职机构:
浙江大学信息与电子工程学系
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
教育部科学技术研究重点项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王跃林
浙江大学信息与电子工程学系
王文辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
浙江大学信息与电子工程学系
吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术...
杨建义
浙江大学信息与电子工程学系
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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供职机构
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王文辉
供职机构:浙江大学
研究主题:硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
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供职机构
所获资助
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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供职机构
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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杨建义
供职机构:浙江大学
研究主题:波导 集成光学 光开关 多模干涉 玻璃基
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杨艺榕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
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贾科淼
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:阵列波导光栅 集成光学 键合 二氧化硅 集成波导
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金仲和
供职机构:浙江大学
研究主题:卫星 谐振式光纤陀螺 微小卫星 微机械陀螺 种皮
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郭伟
供职机构:浙江大学
研究主题:光学谐振腔 谐振腔 智能变电站 波导 反射镜
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研究领域
李广波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:纳米 集成光学 键合 光子器件 玻璃基
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