2025年1月28日
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夏晓翔
作品数:
36
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
顾长志
中国科学院物理研究所
杨海方
中国科学院物理研究所
李俊杰
中国科学院物理研究所
刘哲
中国科学院物理研究所
尹红星
中国科学院物理研究所
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顾长志
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
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杨海方
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:定影 石墨烯 反应离子刻蚀 金属 电子束曝光
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所获资助
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李俊杰
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 石墨烯 定影 金刚石 抗蚀剂
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供职机构
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刘哲
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 基底 光刻胶 衬底 离子束辐照
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尹红星
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:光刻胶 干法刻蚀 光提取效率 金属 紫外光刻
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田士兵
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:阵列结构 掩膜 灯丝 石墨烯 衬底
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
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全保刚
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:湿法腐蚀 光学元件 电子束曝光 定影 电子束光刻
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孙旺宁
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:阵列结构 玻璃态 硅片表面 硅表面 机械分离
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李林
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:超导薄膜 YBA YBCO 高TC 超导体
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