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张琪
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1
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张林涛
清华大学
刘理天
清华大学
李志坚
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清华大学
任天令
清华大学
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张林涛
供职机构:清华大学
研究主题:铁电薄膜 微麦克风 PZT 铁电 扬声器
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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朱静
供职机构:清华大学
研究主题:金属间化合物 纳米线阵列 吸波材料 空心车轴 电子显微学
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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