2024年8月7日
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李杰
作品数:
36
被引量:22
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
上海市自然科学基金
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理学
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合作作者
唐锋
中国科学院上海光学精密机械研究...
王向朝
中国科学院大学
吴飞斌
中国科学院大学
李永
中国科学院大学
戴凤钊
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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唐锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
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吴飞斌
供职机构:中国科学院
研究主题:剪切干涉仪 剪切干涉 波像差 子孔径拼接 面形
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李永
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:子孔径拼接 剪切干涉仪 波像差 剪切干涉 面形
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戴凤钊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
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方伟
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 点光源 测试技术 二维阵列
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朱鹏辉
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 点光源 子孔径拼接 测试技术
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卢云君
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜
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郭福东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
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冯鹏
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉图 干涉仪 波前传感器 分波 剪切
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