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李永亮
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221
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
王文武
中国科学院微电子研究所
李俊杰
中国科学院微电子研究所
罗军
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
马雪丽
中国科学院微电子研究所
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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马雪丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 阈值电压 沟道 介质层 半导体结构
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张青竹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 纳米片 叠层 纳米线
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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王晓磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 界面层 阈值电压 金属栅 半导体
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
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