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丁珂
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北京大学
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电子电信
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合作作者
郝一龙
北京大学
王阳元
北京大学
李灿
北京大学
徐军
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吴文刚
北京大学
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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李灿
供职机构:北京大学
研究主题:ENSO 碳循环 传感器件 保护层 悬臂梁
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 MEMS 悬臂梁 各向异性刻蚀 聚焦离子束
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徐军
供职机构:北京大学
研究主题:扫描电镜 钨丝 场发射 电子显微镜 真空度测量
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