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戈肖鸿

作品数：35 被引量：51H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴燕红
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
豆传国
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：应力传感器 硅 多晶硅 互连 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞正寅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微泵 传感器件 高深宽比 感应耦合等离子体 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 固定相 热导检测器 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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