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李修函
作品数:
35
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H指数:2
供职机构:
北京交通大学
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国家自然科学基金
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合作作者
李婷
北京大学
张大成
北京大学
于晓梅
北京大学信息科学技术学院微米纳...
王阳元
北京大学
许巍
北京交通大学
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 MEMS
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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许巍
供职机构:北京交通大学
研究主题:超材料 横条 合金材料 金属背电极 纳米发电机
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杨天阳
供职机构:北京交通大学
研究主题:太赫兹 磁共振 横条 几何尺寸 滤波器
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罗葵
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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王颖
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
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张汉儒
供职机构:北京交通大学
研究主题:磁共振 几何尺寸 谐振子 谐振 电感
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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