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许嘉俊
作品数:
30
被引量:33
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
理学
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自动化与计算机技术
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合作作者
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
贾辛
中国科学院光电技术研究所
徐富超
中国科学院研究生院
冯婕
中国科学院光电技术研究所
刘志祥
中国科学院光电技术研究所
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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贾辛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 空间滤波器 移相 波片 绝对测量
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徐富超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
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冯婕
供职机构:中国科学院
研究主题:计算全息 CMOS图像传感器 标准镜头 质子辐照 CCD
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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刘志祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
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邓超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
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谢伟民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 面形 光纤耦合 半导体激光器 移相
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李云
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:离子束 光学元件 面形 面形误差 超精密车削
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倪磊
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:光学加工
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